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三維測量顯微鏡
產(chǎn)品介紹產(chǎn)品簡介： 表面微觀三維結(jié)構(gòu)測量，表面三維粗糙度非接觸測量 檢測對象： 精密光學(xué)元件，微納加工器件，金屬機(jī)加工零件 面向行業(yè)： 半半導(dǎo)體，汽車，太陽能，精密光學(xué)等從事表面分析的各類科研院所及企業(yè) 技術(shù)參數(shù)技術(shù)參數(shù)： 1.縱向測量重復(fù)性: 0.5nm （PSI 模式） 縱向分辨率： 2nm 2.縱向測量范圍：15mm 3.高度測量示值誤差： <3% 4.配備超高橫向分辨率測量功能（橫向分辨 100nm） 5.豐富的三維特征分析軟件和粗糙度分析功能 6.采用抗震性硬件結(jié)構(gòu)和軟件算法設(shè)計 測量實例
VLSI納米臺階標(biāo)準(zhǔn)塊三維測量結(jié)果 磨削加工表面三維微觀結(jié)構(gòu)測量
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FM-AR532/AR785原子力顯微鏡與激光拉曼光譜儀一體機(jī) 對納米材料表面形貌、顆粒度、粗糙度和拉曼光譜性能進(jìn)行表征、分析 |
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FM-Nanoview1000AFM 分體式原子力顯微鏡 帶光學(xué)定位的CCD觀測系統(tǒng)，實時觀測與定位探針樣品掃描區(qū)域 |
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FM-Nanoview6800一體式原子力顯微鏡 開啟全民原子力顯微鏡時代，掃描范圍更廣，定位更精確 |
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自由曲面三維面型檢測系統(tǒng) |
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原子力顯微鏡（環(huán)境控制型）FM-Nanoview EC-AFM |
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原子力顯微鏡光學(xué)一體機(jī) FM-Nanoview Op-AFM |
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