Micro-VU Excel 1650|200|250系列測量儀    
   
          
                
技術(shù)參數(shù)
    
        
            | 型號  | 
            Excel1651UM/UC | 
            Excel1652UM/UC | 
            Excel200U  | 
            Excel250U  | 
         
        
            | 量測行程  | 
            1250x1650x160mm | 
            1250x1650x250mm | 
            2000x1250x200mm  | 
            2500x1600x200mm  | 
         
        
            | 外形尺寸  | 
            1886x2600x1650mm | 
            1886x2600x1850mm | 
            1886x3084x1737mm  | 
            2252x3794x1737mm  | 
         
        
            | 重量  | 
            3,600kg | 
            3,650kg | 
            3,740kg  | 
            6,800kg  | 
         
        
            | 承載重量  | 
            100kg  | 
         
        
            | 平臺材質(zhì)  | 
            鋼構(gòu)  | 
         
        
            | 平臺設(shè)計  | 
            龍門式  | 
         
        
            | 基座材質(zhì)  | 
            花崗巖  | 
         
        
            | XY 精度  | 
            4.0+L/300μm  | 
            4.05+L/300μm | 
            [5.5+L(mm)/300]μm | 
            [5.5+L(mm)/300]μm | 
         
        
            | Z 精度  | 
            2.8+L/150μm | 
            3.0+L/150μm | 
            3.0+L/150μm  | 
            3.0+L/150μm  | 
         
        
            | 加速度  | 
            1000mm/s2(XY), 500mm/s2(Z)  | 
         
        
            | 速度  | 
            500mm/s(XY), 500mm/s(Z)  | 
         
        
            | 光學(xué)尺解析度  | 
            0.1μm  | 
         
        
            | 影像  | 
            高解析度彩色或黑白系統(tǒng)  | 
         
        
            | 表面光, 輪廓光,同軸光光源  | 
            紅光LED (黑白系統(tǒng)白光) 
            LED(彩色系統(tǒng))  | 
         
        
            | 光學(xué)系統(tǒng)/放大倍率  | 
            12:1光學(xué) Zoom/15x-180x or 30x-360x放大倍率  | 
         
        
            | 軟體  | 
            InSpec Metrology Software  | 
         
        
            | 電控系統(tǒng)  | 
            伺服系統(tǒng): CNC, 滑鼠, 搖桿 | 
         
        
            | 工作環(huán)境  | 
            20℃±2°,30-80% 濕度  | 
         
        
            | 電源系統(tǒng)  | 
            93-264VAC, 47-63Hz, 10Amp  | 
         
    
 
 
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