美國(guó)Micro-VU Excel 660系列影像測(cè)量?jī)x
技術(shù)參數(shù)
| 型號(hào) |
Excel661UM |
Excel661UC |
Excel662UM |
Excel662UC |
Excel664UM |
Excel664UC |
| 測(cè)量行程 |
650x650x160mm |
650x650x250mm |
650x650x400mm |
| 外形尺寸 |
1311x1604x1608mm |
1311x1604x1788mm |
1311x1604x2088mm |
| 重量 |
1530kg |
1550kg |
1550kg |
| 承載重量 |
100kg |
100kg |
100kg |
| 平臺(tái)材質(zhì) |
鋼構(gòu) |
| 基座材質(zhì) |
花崗巖 |
| 傳動(dòng)方式 |
Unique X&Y Monorail, Monorail Linear Z |
| 電控系統(tǒng) |
伺服系統(tǒng): CNC, 鼠標(biāo), 搖桿 |
| 電源系統(tǒng) |
93-264 VAC, 47-63 Hz,最大10 Amp |
| XY 精度 |
Uxy=2.5+L/300μm |
Uxy=2.8+L/300μm |
Uxy=3.2+L/300μm |
| Z 精度 |
Ux=2.5+L/150μm |
Ux=3.0+L/150μm |
Ux=3.5+L/150μm |
| XY 重現(xiàn)性 |
2.5μm |
2.8μm |
3.2μm |
| Z 重現(xiàn)性 |
2.5μm |
3.0μm |
3.5μm |
| XY 加速度 |
1000mm/S2 |
| Z 加速度 |
500mm/S2 |
| XY 移動(dòng)速度 |
500mm/s |
| Z 移動(dòng)速度 |
150mm/s |
| 光學(xué)尺分辨率 |
0.1μm |
| 影像 |
黑白 |
彩色 |
黑白 |
彩色 |
黑白 |
彩色 |
| 光源 |
紅光LED |
白光LED |
紅光LED |
白光LED |
紅光LED |
白光LED |
| 照明系統(tǒng) |
表面光, 輪廓光,同軸光 |
| 光學(xué)系統(tǒng)/放大倍率 |
12x 光學(xué)/3x 數(shù)字 Zoom / 15x~1200x 放大倍率 |
| 軟件 |
InSpec for Windows Metrology Software(2000/XP/Vista) |
| 工作環(huán)境 |
20℃(68℉)±2°,30-80%濕度 |
|
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